化工原料丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA),也叫丙二醇单甲醚乙酸酯,分子式为C6H12O3,无色吸湿液体,有特殊气味,是一种具有多官能团的非公害溶剂。
主要用于油墨、油漆、墨水、纺织染料、纺织油剂的溶剂,也可用于液晶显示器生产中的清洗剂。易燃,高于42°C时可能形成爆炸性蒸汽/空气混合物。
PGMEA溶剂是一种典型的用于溶解光敏聚合物的溶剂(major solvent),其含有的任何金属离子都会潜在的影响光刻制程,从而扩散到功能性元器件中,降低其性能,良率或者使用寿命。
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